Trennsäulenentwicklung für einen miniaturisierten Gas Chromatograph
Ein miniaturisierter Gaschromatograph (µGC) mit Probeneinlaßsystem, Trennsäule mit Heizung und Detektorintegriert auf einer Siliziumscheibe, repräsentiert eine neue Generation von schnellen, kostengünstigen, autonomenund portablen Gasanalysatoren. Im Rahmen dieses Projektes werden Trennsäulen in Mikrosystem- und Dünnschichttechnikentwickelt und optimiert. Realisiert wurde eine Trennsäule in plasmageätzter Spiralgrabenstruktur, die durchanodisches Bonden eines Pyrex-Glasdeckels auf den Silizium-Wafer verschlossen wird. Als stationäre Phase dient eine ineinem Plasmapolymerisationsprozess abgeschiedene siliziumorganische Schicht, mit der äußerst kurze Analysezeiten erreicht werden können (C1-C5 in 80sec). Darauf aufbauend wurden weitere plasmapolymerisierte stationäre Phasen wie TFE und PE mit gezielt eingebauten funktionalen Gruppen untersucht. Derzeitiger Schwerpunkt ist die Entwicklung einer gepackten Säule mit Kohlenstoff Nanoröhren als Adsorbent zur Permanentgasanalyse und als Anreicherungseinheit. Weitere Informationen zu diesem Forschungsprojekt können Sie hier bekommenPublikationen
Stichwörter
| |||||||||||||||