FEM - Simulation gekoppelter Probleme der Mikrosystemtechnik

Die Finite Element Methode (FEM) ist als sehr leistungsfähiges Verfahren bekannt, das auch zur Lösung hochkomplexer Probleme geeignet ist, insbesondere hinsichtlich der numerischen Genauigkeit, komplizierter geometrischer Anforderungen und der graphischen Illustration. Aufgrund der höheren Komplexität, die aus der Natur gekoppelter Probleme entsteht, müssen in der Mikrosystemtechnik mehrere zusätzliche Methoden wie zum Beispiel die numerischen Verfahren zur Lösung von Mehrgrößen-Gleichungssystem berücksichtigt werden. Die Simulation eines paramagnetischen Sauerstoffmikrosensor befasst sich mit der Kopplung von magnetischen, thermischen und fluidischen Feldern. Bei diesem Problem werden wenigstens eine Variable des magnetischen Felds, eine des Temperaturfelds und zwei für das planare Geschwindigkeitsfeld gleichzeitig oder sequentiell, abhängig vom Typ der Kopplung, bestimmt. Ziel dieses Projektes ist die Entwicklung eines entsprechenden Simulationsprogramms um die Eigenschaften solcher gekoppelter Probleme in Mikrosystemanwendungen zu bestimmen und so die Optimierung der Systemfunktion zu ermöglichen.

• 4-07.120V
  B. Kasemset, M. Kasper, Simulation of Fluidic-Thermal-Magnetic Coupled Phenomena in a Paramagnetic Oxygen Microsensor, 4. GI/GMM/ITG-Workshop, Multi-Nature Systems, 2003, Ilmenau, Germany
• 4-07.154V
  B. Kasemset, M. Kasper, Finite Element Simulation of Fluidic-Thermal Coupled Phenomea in a Micro Flow Sensor with Slip Boundary Conditions, 5. GI/GMM/ITG-Workshop, Multi-Nature Systems, 2005, Dresden, Germany

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• FEM
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