Forschungsbericht 2025

Mikrosystemtechnik E-7

Leitung: Trieu, Hoc Khiem
Oberingenieur: Bohne, Sven

Institut auf TORE
Institutswebsite

Publikationen

• NMR relaxometry probes solvent-polarity-dependent molecular interactions in stimuli-responsive lyogels - Journal Article
  Adrian, Muhammad; Eckert, Kathrin; Serial, Maria Raquel; Tsanda, Artyom; Rennpferdt, Lukas; Benders, Stefan; Trieu, Hoc Khiem; Knopp, Tobias; Smirnova, Irina; Penn, Alexander
  Physical Chemistry Chemical Physics (2025)
  Open Access | Publisher DOI
  
  
• Microelectronic modular system for sensor-integrating machine elements—model-based configuration and prototypical implementation of sensor-integrating bolts - Journal Article
  Küchenhof, Jan; Breimann, Richard; Gomberg, Ilja; Kirchner, Eckhard; Trieu, Hoc Khiem; Krause, Dieter
  Forschung Im Ingenieurwesen Engineering Research 89 (1): 164 (2025)
  Open Access | Publisher DOI
  
  
• 3.35V High Voltage Electroforming System in 28nm with 5.3mV ripple and 46 % efficiency for HfO2-based Memristors - Journal Article
  Shamookh, Muhammad; Ashok, Arun; Zambanini, André; Geläschus, Anton Ulrich; Grewing, Christian; Bahr, Andreas; Waasen, Stefan van
  AEU International Journal of Electronics and Communications 200: 155863 (2025)
  Open Access | Publisher DOI
  
  
• Local thermal runaway during surge events in power rectifiers - Journal Article
  Bergmann, Ole Jonathan; Boettcher, Tim; Vu, Hoan; Trieu, Hoc Khiem
  Microelectronics Reliability 172: 115833 (2025)
  Open Access | Publisher DOI
  
  
• NMR Relaxometry for Molecular Structure Analysis of Stimuli-Responsive Lyogels in Varied Solvent Polarities - Conference Poster
  Adrian, Muhammad; Eckert, Kathrin; Serial, Maria Raquel; Rennpferdt, Lukas; Tsanda, Artyom; Benders, Stefan; Trieu, Hoc Khiem; Knopp, Tobias; Smirnova, Irina; Penn, Alexander
  18th International Conference on Magnetic Resonance Microscopy, ICMRM 2025
  
  
• Development of an oxygen-sensitive hydrogel for monitoring oxygen diffusion in tissue engineering - Journal Article
  Ehlers, Lisa; Rennpferdt, Lukas; Trieu, Hoc Khiem
  Transactions on additive manufacturing meets medicine 7 (1): 2084 (2025)
  Open Access | Publisher DOI
  
  
• Advancements in aircraft engine Inspection: a MEMS-based 3D measuring borescope - Journal Article
  Gail, Jonathan; Kruse, Felix; Shanshan, Gu-Stoppel; Schmedemann, Ole; Leder, Günther; Reinert, Wolfgang; Wysocki, Lena; Burmeister, Nils; Ratzmann, Lars; Giese, Thorsten; Schütt, Patrick; Piechotta, Gundula; Schüppstuhl, Thorsten
  Aerospace 12 (5): 419 (2025)
  Open Access | Publisher DOI
  
  
• Current regulated LED driver with fast switch-off behavior for integrated optoelectronic implants - Conference Paper
  Geläschus, Anton Ulrich; Singer, Julian Alexander; Kuhl, Matthias; Bahr, Andreas
  IEEE International Symposium on Circuits and Systems, ISCAS 2025
  Publisher DOI
  
  
• NMR relaxometry for molecular structure analysis of stimuli-responsive lyogels in varied solvent polarities - Conference Poster
  Adrian, Muhammad; Eckert, Kathrin; Serial, Maria Raquel; Rennpferdt, Lukas; Tsanda, Artyom; Benders, Stefan; Trieu, Hoc Khiem; Knopp, Tobias; Smirnova, Irina; Penn, Alexander
  Quantitative NMR Methods for Reaction and Process Monitoring, NMRPM 2025
  
  
• Development of a microfluidic chip with integrated hydrogel membranes for tissue engineering applications - Conference Paper
  Ehlers, Lisa; Rennpferdt, Lukas; Trieu, Hoc Khiem
  11. MikroSystemTechnik Kongress 2025
  Publisher DOI
  
  
• Switchable microvalve for high-pressure applications - Conference Paper
  Venegas-Rojas, Daybith; Bohne, Sven; Trieu, Hoc Khiem
  11. MikroSystemTechnik Kongress 2025
  
  
• Enhancing the applicability of femtosecond laser written waveguides in fused silica - Conference Paper
  Rennpferdt, Lukas; Bohne, Sven; Puthanveedu, Sreejith; Trieu, Hoc Khiem
  11. MikroSystemTechnik Kongress 2025
  Publisher DOI
  
  
• Miniaturized Lagrangian sensor-systems for position detection in (bio-)chemical reactors - Conference Paper
  Geläschus, Anton Ulrich; Haack, Marcel; Sulecki, Julius von; Trieu, Hoc Khiem
  11. MikroSystemTechnik Kongress 2025
  Publisher DOI
  
  
• Freestanding membranes of titania nanorods, photocatalytically reduced graphene oxide, and silk fibroin: Tunable properties and electrostatic actuation - Journal Article
  Dobschall, Finn; Hartmann, Hauke; Bittinger Sophia Caroline; Schulz, Norbert; Schlicke, Hendrik; Trieu, Hoc Khiem; Vossmeyer, Tobias
  Advanced Electronic Materials 11 (5): 2400602 (2025)
  Open Access | Publisher DOI
  
  
• Photoluminescent polymer films for high-sensitivity oxygen sensing in biomedical implants - Conference Paper
  Singer, Julian Alexander; Geläschus, Anton Ulrich; Kleinschnittger, Patrick; Schmidt, Ute; Kuhl, Matthias; Bahr, Andreas
  38th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2025
  Publisher DOI
  
  
• On the combination of pyrolysis and plasma to create Parylene C thin films - Conference Paper
  Schober, Konstanze; Meyer, Niklas; Brandt, Julia; Koldehoff, Jasmin; Trieu, Hoc Khiem
  11. MikroSystemTechnik Kongress 2025
  Publisher DOI
  
  
• Novel 3d fabrication method for micro-flame Ionization detectors - Conference Paper
  Bohne, Sven; Li, Ye; Rogoll, Lennart; Lienerth, Peter; Trieu, Hoc Khiem
  11. MikroSystemTechnik Kongress 2025
  Publisher DOI
  
  
• Efficient thermal tuning of silicon microring resonators based on thermo-optic effect - Conference Paper
  Alhareeb, Nadeem; Haydar, Ahmad; Vermeer, Matthias; Trieu, Hoc Khiem; Lipka, Timo
  11. MikroSystemTechnik Kongress 2025
  
  

Projekte

• EXC 3120 BlueMat - Cross Area Exploitation & Experiencing
  Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG); Laufzeit 2026-2032
  Projektleitung: Smirnova, Irina; Steinicke, Frank
  Co-Projektleitung: Kelbassa, Ingomar; Kölpin, Alexander; Köttering, Martin; Trieu, Hoc Khiem; Zierold, Robert
  Mitarbeitende: Schattmann, Christine; Ioannis Markopoulos; Ilgaz, Fatih
  Externe beteiligte Einrichtungen: Universität Hamburg; Hochschule für bildende Künste HFBK
  
  
• EXC 3120 BlueMat - Research Topic A4: Bioinspired and Modeling-Guided Nanoporous Device Concepts
  Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG); Laufzeit 2026-2032
  Projektleitung: Hesse, Linnea; Huber, Norbert
  Co-Projektleitung: Bake, Friedrich; Cyron, Christian J.; Hoffmann, Norbert; Trieu, Hoc Khiem
  Mitarbeitende: Jambagi, Mahendra Bhimappa; Lena Dyckhoff; Fischer, Tim; Ohlsen, Jakob; Ilgaz, Fatih
  Externe beteiligte Einrichtungen: Universität Hamburg; Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
  
  
• MiMoSe II - SPP 2305: Mikroelektronischer Modulbaukasten für Sensorintegrierende Maschinenelemente
  Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG); Laufzeit 2025-2028
  Projektleitung: Krause, Dieter; Trieu, Hoc Khiem
  Mitarbeitende: Hüls, Matthias
  Externe beteiligte Einrichtungen: Technische Universität Darmstadt
  
  
• HODEPLIO - Hochfrequenzgerechtes Design planarer Ionenfallen
  Hamburgische Investitions- und Förderbank; Laufzeit 2024-2026
  Projektleitung: Kölpin, Alexander; Trieu, Hoc Khiem
  Externe beteiligte Einrichtungen: eleQtron GmbH
  
  
• AFX - Akustofluidische Proteinkristallographie
  Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (BMFTR); Laufzeit 2024-2028
  Projektleitung: Trieu, Hoc Khiem
  
  
• SFB 1615 - Teilprojekt A04: Selbstregulierende optimierte Oberflächen für autonom betriebene Bioprozesse
  Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG); Laufzeit 2023-2027
  Projektleitung: Trieu, Hoc Khiem; Liese, Andreas
  Co-Projektleitung: Ohde, Daniel
  Mitarbeitende: Lipka, Timo; Bohne, Sven; Ohde, Daniel; Dittmer, Kayla; Rennpferdt, Lukas
  
  
• SFB 1615 - Teilprojekt A08: Lagrangesche Bauelemente mit einem validierten Modell zur Vielteilchen-Positionsbestimmung
  Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG); Laufzeit 2023-2027
  Projektleitung: Ruprecht, Daniel; Trieu, Hoc Khiem
  Mitarbeitende: Götschel, Sebastian; Gomberg, Ilja; Bohne, Sven; Rathi, Vamika; Sommer, Finn Luca; Geläschus, Anton Ulrich
  
  
• Hamburg Quantencomputing HQC - Teilprojekt P06: Integrated Photonics for Scalable Quantum Computers
  Hamburgische Investitions- und Förderbank; Laufzeit 2023-2028
  Projektleitung: Lipka, Timo; Trieu, Hoc Khiem
  
  
• Hamburg Quantencomputing HQC - Teilprojekt P07: System Integration for Low-Loss Photonic Couplings
  Hamburgische Investitions- und Förderbank; Laufzeit 2023-2028
  Projektleitung: Lipka, Timo; Trieu, Hoc Khiem
  
  
• ReWire - Technology-driven combinatorial therapy to rewire the spinal cord after injury
  European Commission; Laufzeit 2023-2026
  Projektleitung: Trieu, Hoc Khiem
  Mitarbeitende: Ippoliti, Alessandro Maria
  Externe beteiligte Einrichtungen: Pepscan Therapeutics BV; Eindhoven University of Technology; Onward Medical NV; French Alternative Energies and Atomic Energy Commission; Scuola Superiore Sant’Anna; Wearable Robotics S.r.l.
  
  
• MiMoSe I - SPP 2305: Mikroelektronischer Modulbaukasten für Sensorintegrierende Maschinenelemente
  Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG); Laufzeit 2021-2025
  Projektleitung: Krause, Dieter; Trieu, Hoc Khiem
  Mitarbeitende: Gomberg, Ilja
  Externe beteiligte Einrichtungen: Technische Universität Darmstadt
  
  

Kooperationspartner

• TÜV Nord
• HORIBA Europe GmbH
• Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf
• Berufsgenossenschaftliches Unfallkrankenhaus Hamburg (BUK)
• CIS Institut für Mikrosensorik gGmbH
• HZG
• UKE
• PreSens GmbH
• Uni Hamburg
• Uni Lübeck
• TU München
• DESY
• MPG

Großgeräte

• 3-Achsen-CO2-Beschriftungslaser ML-Z9610
  Hersteller: Keyence
  DOI: 10.15480/882.14370
  DFG-Geräteklassifikation: 2070 -- Markierungsgeräte, Beschriftungsgeräte für Metall
  
  
• 3D Laserscanning-Mikroskop VK-X3000
  Hersteller: Keyence
  DOI: 10.15480/882.14373
  DFG-Geräteklassifikation: 5090 -- Laser-Scanning-Mikroskope
  
  
• Atomic Layer Deposition Picosun R200 Advanced
  Hersteller: Picosun (Finland)
  DOI: 10.15480/882.14374
  DFG-Geräteklassifikation: 0920 -- Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
  
  
• Dünndraht Wedge-Wedge Bonder 5630
  Hersteller: F&S Bondtec Semiconductor GmbH
  DOI: 10.15480/882.14371
  DFG-Geräteklassifikation: 2160 -- Halbleiter-Kontaktiergeräte, Drahtbonder
  
  
• Halbautomatische Präzisionssäge
  Hersteller: Disco Hi-Tec Europe GmbH
  DOI: 10.15480/882.14294
  DFG-Geräteklassifikation: 0930 -- Spezialgeräte der Halbleiterprozesstechnik
  
  
• Korvus PVD
  Hersteller: diverse Lieferanten
  DOI: 10.15480/882.16558
  DFG-Geräteklassifikation: 8330 -- Sputtering-Anlagen
  
  
• Laser-Ellipsometer PZ2000
  DOI: 10.15480/882.14292
  DFG-Geräteklassifikation: 5360 -- Ellipsometer, Photoelektrische
  
  
• Lithgraphiegerät EVG 620 Double Side Mask Aligner
  Hersteller: EVG Group E. Thallner GmbH
  DOI: 10.15480/882.14368
  DFG-Geräteklassifikation: 0930 -- Maskenjustier-, Maskenbelichtungs-Anlagen, Mask Aligner für Halbleitertechnologie
  
  
• Mask Aligner SÜSS MA45 Base machine
  Hersteller: SUSS MicroTec ReMan GmbH
  DOI: 10.15480/882.14291
  DFG-Geräteklassifikation: 0930 -- Maskenjustier-, Maskenbelichtungs-Anlagen, Mask Aligner für Halbleitertechnologie
  
  
• Oxford ALE PlasmaPro 100 Ätzer
  Hersteller: Oxford Instruments GmbH
  DOI: 10.15480/882.14365
  DFG-Geräteklassifikation: 5180 -- Ionen-Ätzanlagen (Oberflächenbearbeitung und Bohren, außer Präparieranlagen 8330)
  
  
• Oxford PECVD PlasmaPro 100
  Hersteller: Oxford Instruments GmbH
  DOI: 10.15480/882.14296
  DFG-Geräteklassifikation: 0920 -- PECVD-Anlagen (Plasma-Emissions-Beschichtung)
  
  
• Parylene Labcoator 300
  DOI: 10.15480/882.14376
  DFG-Geräteklassifikation: 0920 -- PECVD-Anlagen (Plasma-Emissions-Beschichtung)
  
  
• PECVD/RIE Cluster Anlage
  Hersteller: STS
  DOI: 10.15480/882.14372
  DFG-Geräteklassifikation: 0920 -- PECVD-Anlagen (Plasma-Emissions-Beschichtung)
  
  
• Picomaster Raith 100
  Hersteller: Raith GmbH
  DOI: 10.15480/882.14366
  DFG-Geräteklassifikation: 0930 -- Maskenjustier-, Maskenbelichtungs-Anlagen, Mask Aligner für Halbleitertechnologie
  
  
• Rasterkraftmikroskop
  DOI: 10.15480/882.14293
  DFG-Geräteklassifikation: 5000 -- Labormikroskope
  
  
• SLE Anlage LightFab 3D Printer M
  Hersteller: LightFab GmbH
  DOI: 10.15480/882.14295
  DFG-Geräteklassifikation: 2220 -- Glasbearbeitungsmaschinen
  
  
• SNSPD System
  Hersteller: ID Quantique SA
  DOI: 10.15480/882.16529
  DFG-Geräteklassifikation: 0930 -- Spezialgeräte der Halbleiterprozesstechnik
  
  
• Sputteranlage Leybold Hereaus Z550A
  Hersteller: Leybold Hereaus
  DOI: 10.15480/882.14362
  DFG-Geräteklassifikation: 8330 -- Sputtering-Anlagen
  
  
• Ultra-Precise Deposition Direkt Silver Printing System
  Hersteller: XTPL
  DOI: 10.15480/882.14369
  DFG-Geräteklassifikation: 2099 -- 3D-Drucker für metallische Werkstoffe
  
  
• Waferprober
  Hersteller: Ficontec Service GmbH
  DOI: 10.15480/882.14367
  DFG-Geräteklassifikation: 2780 -- Prober (Prüfgeräte) für Halbleiterbausteine