Ziel des Vorhabens ist die Realisierung von dynamisch und statisch unabhängig voneinander auf Basis des thermo-optischen, des elasto-optischen, sowie des im Silizium integrierbaren elektrooptischen Effektes abstimmbaren Silicon-On-Insulator (SOI)-Mach-Zehnder-Interfereometern (MZI) und SOI-Resonatoren und -Arrays auf kleinstem Raum zum Aufbau von Multiplexsystemen und zum Ausgleich von Herstellungstoleranzen. Die Resonatoren und MZI werden als Siliziumwellenleiter (Nanowires) mit hohem Feldanteil in der SiO2-Ummantelung mittels DUV-Lithographie an einem EV620 sowie durch Nanoimprintlithographie, die noch kleinere Koppelabstände ermöglicht, realisiert. Für die elasto-optische Abstimmung sind die Resonatoren auf elektrostatisch auslenkbaren SiO2-Membranen gelagert. Durch Heizelemente, die sich ebenfalls auf den SiO2-Membranen befinden, können die Wellenleiter temperiert und somit thermo-optisch verstimmt werden. Die Membranen ermöglichen die thermische Isolierung zwischen den einzelnen Elementen. Für die elektro-optische Verstimmung der Resonatoren wird nicht der übliche elektrooptische Effekt in kristallinen Festkörpern genutzt, sondern die Indexveränderung aufgrund hoher Konzentrationen freier Ladungsträgern an der Halbleiter-Isolator-Grenzfläche, was auf Basis von ZnO:Al-SiO2 realisiert werden soll. Dieses Projekt wird durch die DFG gefördert und gehört zur DFG-Forschergruppe "Aktive und abstimmbare mikrophotonische Systeme auf Basis von Silicon-on-Insulator (SOI)"