Abstimmbare Festkörperlaser finden vielfache Anwendung in der Spektroskopie, der Photochemie und in LIDAR-Systemen, um zum Beispiel Luftschadstoffe zu erfassen. Unteren anderem spielt vor allem die Breitbandigkeit eine wichtige Rolle. Hier tut sich vor allem der Titan-Saphir-Laser hervor, der im nahen Infrarotbereich mit etwa 400 nm und einer Mittenwellenlänge von 850 nm den größten Abstimmbereich bietet. Bisher werden diese Laser vor allem in Ringresonatoraufbau mit einem Argon-Laser als Pumpquelle realisiert. Dieser Aufbau ist groß und erfordert einen hohen Justageaufwand, daher ist es sehr interessant, einen abstimmbaren integriert-optischen Laser herzustellen.In diesem Projekt soll ein integriert-optischer Laser in Dünnschicht-technologie hergestellt werden, der auf Titan-dotierten Aluminiumoxid-wellenleitern basiert. Abgeschieden werden die Schichten mit Dotierung im PECVD-Verfahren aus metallorganischen Präkursoren. Strukturiert werden die Wellenleiter durch ein plasmaunterstüzten Trockätzverfahren.Um ein platzsparendes System zu erhalten, wird ein Ringlasersystem hergestellt, das inklusive Ein- und Auskoppelsystem auf einem Substrat realisiert werden kann. Zum Verstimmen der ausgekoppelten Wellenlänge, soll ein in den Ring integriertes Etalon aus Zinkoxid verwendet werden, welches den Vorteil hat, dass der Brechungsindex sowohl elektrooptisch als auch elastooptisch veränderbar ist. Das erforderliche richungsbestimmende Element soll durch eine neuartige Klinkenstruktur realisiert werden, welche das im Ringresonator nach außen gedrängte optische Feld in einer Richtung aus dem Ring streut, während es sich in die andere Richtung verlustarm ausbreiten kann.