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Forschungsbericht 2008



"Planar Integrertes Mikromassenspektrometer"

Institut: Mikrosystemtechnik
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. habil. Jörg Müller
Stellvertretende Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. habil. Jörg Müller
Mitarbeiter/innen: Dipl.-Phys. Maria Reinhardt , M.Sc. Regulo Miguel Ramírez Wong , Dipl.-Ing. Grigoriy Quiring
Projektnummer: 475.C
Laufzeit: 10.12.2008 - 10.12.2008


 
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